空氣（富氧空氣或氧氣）的濕度、溫度、流量、壓力、發生器功率等條件都會導致臭氧濃度和產率的變化，如氣體含水量（或露點）會明顯影響臭氧濃度和產率。嚴重時根本不產生臭氧，還會導致臭氧發生器設備損壞，放電室溫度越高，臭氧分解越快，臭氧濃度就越低，應該加強放電室的冷卻效果。在通常放電氣壓小于0.08mpa的條件下，氣壓越高，臭氧濃度就越低，為使臭氧氣體能夠較好的溶解于水又保證一定的氣壓，氣流量越大，臭氧濃度就越低，發生器功率越大，臭氧濃度越高。因此為使臭氧氣體的濃度和產量相對穩定，應該保持上述條件。
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